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반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구
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- 반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구
- 저자
- 차주홍
- 발행일
- 2025-01
- 연구 기간
- 2024-08 ~ 2025-01
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