ScholarWorks@경상국립대학교

상세 보기

반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구

차주홍

제목: 반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구

저자: 차주홍

발행일: 2025-01

연구 기간: 2024-08 ~ 2025-01