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반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구
차주홍
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제목
반도체 공정개론 신규교과목 개발과 고종횡비 반도체 식각 구현을 위한 고정밀 측벽 보호 공정?장비 기술 개발 연구
저자
차주홍
발행일
2025-01
연구 기간
2024-08 ~ 2025-01
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