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사파이어 웨이퍼의 ELID 연삭가공에서 초음파 진동이 연삭 성능에 미치는 영향
- Authors
- 곽태수
- Issue Date
- 17-Oct-2013
- Conference Name
- 2013 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회 발표논문집
- Location
- 대한민국
- metadata.conference.dc.citation.conferenceName
- 2013 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
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- Appears in
Collections - 융합기술공과대학 > 기계소재융합공학부 > Conference Papers
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