상세 보기

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

ISSN

P 1071-1023 E 2166-2746

출판사

American Institute of Physics

국가

USA

발행 상태

활성

CiteScore 2011-2025 (15년)

JCR 1997-2025 (29년)

SCI 2010-2019 (10년)

SCIE 2010-2026 (17년)

Scopus 1982-1984, 1986, 1991-2026 (40년)

SJR 1999-2020, 2022-2025 (26년)

전체 1건 중 1번부터 1번까지의 결과를 표시합니다.

2010

Article