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[RCMS] OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온 난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발(2차년도)

  • 이태경
제목
[RCMS] OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온 난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발(2차년도)
저자
이태경
발행일
2024-12
연구 기간
2024-01 ~ 2024-12

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