[RCMS] 차세대 상변화 메모리소재용 Ge2SbTe5 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 (2차년도)
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제목
[RCMS] 차세대 상변화 메모리소재용 Ge2SbTe5 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 (2차년도)
저자
류경희
발행일
2023-12
연구 기간
2023-01 ~ 2023-12