사파이어 웨이퍼의 ELID 연삭가공에서 초음파 진동이 연삭 성능에 미치는 영향

제목
사파이어 웨이퍼의 ELID 연삭가공에서 초음파 진동이 연삭 성능에 미치는 영향
저자
곽태수
발행일
2013-10-17
학회명
2013 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
개최국가
대한민국