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RCMS-액상공정을 이용한 열변화형 세라믹 박막 및 저온 진공 박막 게터 기술 개발(2차년도)

  • 이성갑; 
  • 여진호; 
  • 정혜린; 
  • 김민호; 
  • 조예원; 
  • 외 1명
제목
RCMS-액상공정을 이용한 열변화형 세라믹 박막 및 저온 진공 박막 게터 기술 개발(2차년도)
저자
이성갑; 여진호; 정혜린; 김민호; 조예원; 김경민
발행일
2015-05
연구 기간
2014-06 ~ 2015-05

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