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확산장벽층을 구비하는 집적 구조체 및 이를 포함하는 전자소자

박준홍;
이도현;
조수연

제목: 확산장벽층을 구비하는 집적 구조체 및 이를 포함하는 전자소자

저자: 박준홍; 이도현; 조수연

발행일: 2025-05-01

출원번호: 2024-192207

등록번호: 7675471

출원일: 2024-10-31

등록일: 2025-05-01

지식재산권 유형: 특허

양수인: 경상국립대학교 산학협력단