[RCMS] OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온 난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발(1차년도)

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제목: [RCMS] OLED 디스플레이용 산화물 TFT 절연막 패턴 형성을 위한 150이하의 저온 난화지수를 지니는 F 기반 PFC 대체가스 개발(1차년도)