[RCMS] 차세대 상변화 메모리소재용 Ge2SbTe5 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 (1차년도)
제목
[RCMS] 차세대 상변화 메모리소재용 Ge2SbTe5 박막 두께 표준물질 개발 및 보급 (1차년도)
저자
류경희
발행일
2022-12
연구 기간
2022-04 ~ 2022-12