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포토리소그래피 공정을 이용한 고분자 반도체 고해상도 패턴 제조방법

최현호;
김영진;
남상용;
정유정

제목: 포토리소그래피 공정을 이용한 고분자 반도체 고해상도 패턴 제조방법

저자: 최현호; 김영진; 남상용; 정유정

발행일: 2025-09-19

출원번호: 10-2024-0166462

등록번호: 10-2863717

출원일: 2024-11-20

등록일: 2025-09-19

지식재산권 유형: 특허

양수인: 경상국립대학교 산학협력단