포토리소그라피법으로 제조된 Cu 기판의 미세패터닝을 이용한 실리콘 전극의 전기화학적 특성 연구

제목
포토리소그라피법으로 제조된 Cu 기판의 미세패터닝을 이용한 실리콘 전극의 전기화학적 특성 연구
저자
조권구
발행일
2011-12-02
학회명
2011 한국전지학회(추계)
개최지
제주도 서귀포 KAL 호텔
학회 개최일
2011-12-01 ~ 2011-12-03