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초록
유리기판 위에 Mg가 첨가된 zinc tin oxide(ZTO:Mg) 박막을 rf 마그네트론 스퍼터링하였다. 스퍼터링 시 주입된 산소와 아르곤의 유량에 따른 ZTO:Mg박막의 광 특성 변화를 측정하였다. 박막의 결정구조, 원소특성 및 깊이방향 원소분포를 조사하기 위하여 XRD, XPS 및 SIMS 측정을 수행하였다. 또한 N+ 실리콘웨이퍼를 게이트전극으로 사용한 bottom-gate 구조의 투명박막트랜지스터를 제조하고, 산소유량에 따른 ZTO:Mg박막트랜지스터의 이동도, 문턱전압 등의 변화를 관찰하였다.
키워드
Transparent thin film transistors; Zinc tin oxide; XPS; Optical transmittance; Energy band gap
- 제목
- rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 Mg-doped Zinc Tin Oxide막의 특성에 미치는 산소의 영향
- 제목 (타언어)
- Effects of Oxygen on the Properties of Mg-doped Zinc Tin Oxide Films Prepared by rf Magnetron Sputtering
- 저자
- 박기철; 마대영
- 발행일
- 2013
- 저널명
- 전기전자재료학회논문지
- 권
- 26
- 호
- 5
- 페이지
- 373 ~ 379