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실리콘 표면에 질소 도핑된 DLC필름의 전기적 특성

제목
실리콘 표면에 질소 도핑된 DLC필름의 전기적 특성
저자
이치우
발행일
2011-10-10
학회명
한국기계가공학회 2011 추계학술대회
학회 개최일
2011-10-10 ~ 2011-10-11

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