Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 Mg-doped Zinc Tin Oxide막의 특성에 미치는 산소의 영향
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박기철 | - |
| dc.contributor.author | 마대영 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-12-27T01:06:40Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-27T01:06:40Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7945 | - |
| dc.identifier.issn | 2288-3258 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.gnu.ac.kr/handle/sw.gnu/21449 | - |
| dc.description.abstract | 유리기판 위에 Mg가 첨가된 zinc tin oxide(ZTO:Mg) 박막을 rf 마그네트론 스퍼터링하였다. 스퍼터링 시 주입된 산소와 아르곤의 유량에 따른 ZTO:Mg박막의 광 특성 변화를 측정하였다. 박막의 결정구조, 원소특성 및 깊이방향 원소분포를 조사하기 위하여 XRD, XPS 및 SIMS 측정을 수행하였다. 또한 N+ 실리콘웨이퍼를 게이트전극으로 사용한 bottom-gate 구조의 투명박막트랜지스터를 제조하고, 산소유량에 따른 ZTO:Mg박막트랜지스터의 이동도, 문턱전압 등의 변화를 관찰하였다. | - |
| dc.format.extent | 7 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국전기전자재료학회 | - |
| dc.title | rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 Mg-doped Zinc Tin Oxide막의 특성에 미치는 산소의 영향 | - |
| dc.title.alternative | Effects of Oxygen on the Properties of Mg-doped Zinc Tin Oxide Films Prepared by rf Magnetron Sputtering | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.doi | 10.4313/JKEM.2013.26.5.373 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 전기전자재료학회논문지, v.26, no.5, pp 373 - 379 | - |
| dc.citation.title | 전기전자재료학회논문지 | - |
| dc.citation.volume | 26 | - |
| dc.citation.number | 5 | - |
| dc.citation.startPage | 373 | - |
| dc.citation.endPage | 379 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001769009 | - |
| dc.description.isOpenAccess | Y | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Transparent thin film transistors | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Zinc tin oxide | - |
| dc.subject.keywordAuthor | XPS | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Optical transmittance | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Energy band gap | - |
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - 공과대학 > 반도체공학과 > Journal Articles
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.