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비냉각형 적외선 센서로 응용하기 위한 반도성 YBa2Cu3O6+x 박막의 열처리 온도에 따른 구조적 전기적 특성open accessStructural and Electrical Properties of Semiconducting YBCO Thin Film Annealed at Various Temperatures for Uncooled Infrared Sensor Application
- Other Titles
- Structural and Electrical Properties of Semiconducting YBCO Thin Film Annealed at Various Temperatures for Uncooled Infrared Sensor Application
- Issue Date
- 2013
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- Semiconducting YBCO; Thin film; Sol-gel
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.26, no.10, pp 731 - 735
- Pages
- 5
- Indexed
- KCI
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 26
- Number
- 10
- Start Page
- 731
- End Page
- 735
- ISSN
- 1226-7945
2288-3258
- Abstract
- YBa2Cu3O6+x 박막은 솔젤법을 이용해 SiO2/Si 기판에 스핀코팅법으로 제작했다. 제작된 박막에 열처리 온도에 따라 구조적 전기적 특성을 조사했다. 다결정 단일상 형성하는 온도인 650℃∼800℃ 온도에서 조사했다. 750℃에서 열처리한 YBa2Cu3O6+x 박막의 두께와 온도저항계수는 각각 0.31 μm and -2.92%/℃ 값을 나타냈다.
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Collections - 공학계열 > Dept.of Materials Engineering and Convergence Technology > Journal Articles
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